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等离子处理仪的频率指的是高频电源的频率，通常为13.56MHz。频率越高，频率过高也会导致设备的成本提高、电磁干扰等问题。应根据实际需求和设备性能选择合适的频率。等离子处理仪的压力指的是气体在处理室内的压力，通常为几个帕斯卡（Pa）。压力越高，压力过高也会导致气体泄漏、设备过热等问题。应根据实际需求和设备性

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